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发明名称 EVAPORATING SOURCE FOR ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 JPH0835061(A) 申请公布日期 1996.02.06
申请号 JP19940168143 申请日期 1994.07.20
申请人 ASAHI OPTICAL CO LTD 发明人 FUJII HIDEO
分类号 C23C14/30;(IPC1-7):C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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