| 发明名称 |
METHOD FOR REMOVING SURFACTANT FROM ETCHANT CONTAINING SURFACTANT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0833801(A) |
申请公布日期 |
1996.02.06 |
| 申请号 |
JP19940192900 |
申请日期 |
1994.07.25 |
| 申请人 |
HASHIMOTO CHEM CORP |
发明人 |
NISHINO KIMIO;HASHIMOTO TSUGUO |
| 分类号 |
B01D15/00;B01D15/04;B01J20/26;H01L21/308;(IPC1-7):B01D15/04 |
主分类号 |
B01D15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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