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发明名称
COLD SLAG REMOVING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0837199(A)
申请公布日期
1996.02.06
申请号
JP19940171509
申请日期
1994.07.25
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
TAKEGAWA YUJI
分类号
H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56
主分类号
H01L21/56
代理机构
代理人
主权项
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