发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0835982(A) 申请公布日期 1996.02.06
申请号 JP19940172869 申请日期 1994.07.25
申请人 FUJIKURA LTD 发明人 NISHIMURA HITOSHI
分类号 G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/12 主分类号 G01P15/12
代理机构 代理人
主权项
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