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发明名称 PROBE APPROACHING METHOD FOR SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0835974(A) 申请公布日期 1996.02.06
申请号 JP19940169599 申请日期 1994.07.21
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 YOSHINO HISAO
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q90/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
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