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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0837218(A) 申请公布日期 1996.02.06
申请号 JP19940172678 申请日期 1994.07.25
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKAO YUKIHIRO
分类号 H01L21/66;H01L21/312;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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