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经营范围
发明名称
FINE PROCESSING METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH0831775(A)
申请公布日期
1996.02.02
申请号
JP19940162240
申请日期
1994.07.14
申请人
NEC CORP
发明人
SUGIMOTO YOSHIMASA
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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