发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR EPITAXIAL WAFER
摘要
申请公布号 JPH0832052(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940168027 申请日期 1994.07.20
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 KOJIMA SEIJI
分类号 H01L21/20;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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