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发明名称 PATTERNING METHOD FOR LAMINATED FILM
摘要
申请公布号 JPH0831793(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940159771 申请日期 1994.07.12
申请人 KUBOTA CORP 发明人 MUTO MASAHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/3205;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320;H01S3/18 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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