METHOD FOR MEASURING THICKNESS OF HIGH CONCENTRATION BORON DIFFUSED LAYER,申请号JP19940186627-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR MEASURING THICKNESS OF HIGH CONCENTRATION BORON DIFFUSED LAYER
摘要
申请公布号	JPH0831896(A)	申请公布日期	1996.02.02
申请号	JP19940186627	申请日期	1994.07.15
申请人	TOKIN CORP	发明人	SATO MASAHIRO
分类号	G01B21/08;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66	主分类号	G01B21/08
代理机构		代理人
主权项
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