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发明名称
DEPOSITION OF NON-SINGLE-CRYSTAL SILICON CARBIDE ALLOY
摘要
申请公布号
JPH0831742(A)
申请公布日期
1996.02.02
申请号
JP19940159946
申请日期
1994.07.12
申请人
CANON INC
发明人
OMI KAZUAKI
分类号
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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