发明名称 DEPOSITION OF NON-SINGLE-CRYSTAL SILICON CARBIDE ALLOY
摘要
申请公布号 JPH0831742(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940159946 申请日期 1994.07.12
申请人 CANON INC 发明人 OMI KAZUAKI
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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