发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0831966(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940163505 申请日期 1994.07.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 KIKUCHI HIROSHI;UDA TAKAYUKI;ITO OSAMU;SATO TOSHIHIKO;HAYASHIDA TETSUYA
分类号 H01L21/60;H01L23/02;H01L23/08;(IPC1-7):H01L23/02 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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