发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0831927(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940164024 申请日期 1994.07.15
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 INOKAWA HIROSHI;MIYAKE MASAYASU;NAKAYAMA SATOSHI;KOBAYASHI TOSHIO
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L27/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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