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发明名称 PRODUCTION OF PHASE SHIFT DIFFRACTION GRATING
摘要
申请公布号 JPH0829605(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940181770 申请日期 1994.07.11
申请人 CANON INC 发明人 NAKANISHI MASAHIRO
分类号 G02B5/18;(IPC1-7):G02B5/18 主分类号 G02B5/18
代理机构 代理人
主权项
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