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发明名称 FOREIGN MATTER REMOVING APPARATUS AND LEAD FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0831890(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940160162 申请日期 1994.07.12
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 FUKUMIZU AKIRA
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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