发明名称 CONNECTION METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0831867(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940167632 申请日期 1994.07.20
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 TSUKAMOTO KENICHI;USAMI MITSUO
分类号 H01L21/60;H05K3/34;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/268 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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