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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FORMING FILM BY USING ORGANIC SILICON SOURCE AND PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0831817(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940160900 申请日期 1994.07.13
申请人 SONY CORP 发明人 SAITO MASAKI
分类号 H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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