WAFER-PERIPHERY EXPOSURE DEVICE,申请号JP19940182001-传众专利搜索

发明名称	WAFER-PERIPHERY EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0831730(A)	申请公布日期	1996.02.02
申请号	JP19940182001	申请日期	1994.07.12
申请人	USHIO INC	发明人	SUZUKI SHINJI
分类号	G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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