发明名称 THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MAKING METHOD
摘要
申请公布号 KR960001610(B1) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 KR19880002396 申请日期 1988.03.08
申请人 HITACHI MANUFACTORY K.K. 发明人 GONISI, NOBUDAKE;ONO, KIGUO;SEUTSUGI, DAKAYA;MIYADA, GENJI
分类号 H01L21/205;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/423;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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