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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR EVALUATING INHIBITION BAND WIDTH OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0831895(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940182801 申请日期 1994.07.12
申请人 NEC CORP 发明人 HORI KYOKO
分类号 G01N27/00;G01N21/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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