| 发明名称 |
TURBO MOLECULAR DRAG PUMP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0833269(A) |
申请公布日期 |
1996.02.02 |
| 申请号 |
JP19940182956 |
申请日期 |
1994.07.12 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
SATO KAZUKI;SHIRAO YUJI;NAKAZAWA TOSHIHARU;MIYAMOTO MATSUTARO |
| 分类号 |
F04D19/04;H02K7/09;H02K7/14;(IPC1-7):H02K7/09 |
主分类号 |
F04D19/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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