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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0831932(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940159850 申请日期 1994.07.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 AOKI HIDEO
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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