PROCESS FOR MEASURING THE DEPTH OF A MICROSTRUCTURE

摘要

Es wird ein Verfahren zur Messung der Tiefe einer Mikrostruktur bei Übertragung der Struktur mittels eines Prägeverfahrens in eine verformbare Schicht vorgeschlagen, bei dem in der zu übertragenden Mikrostruktur eine geometrisch einfache Referenz-Gitterstruktur vorgesehen wird. Diese Referenz-Gitterstruktur bewirkt eine Interferenz eines Mess-Lichtstrahls. Die sich ergebende Farbverteilung ergibt dann ein Mass für die erzielte Strukturtiefe.