TI-W SPUTTERING TARGET AND THE METHOD OF MANUFACTURING IT,申请号KR19930007050-传众专利搜索

发明名称	TI-W SPUTTERING TARGET AND THE METHOD OF MANUFACTURING IT
摘要
申请公布号	KR960001593(B1)	申请公布日期	1996.02.02
申请号	KR19930007050	申请日期	1993.04.21
申请人	TOSHIBA K.K.	发明人	YAMANOBE, TAKASHI;SATO, MICHIO;ISHIGAMI, TAKASHI;KAWAI, MICHO;YAGI, NORIAKI;MAKI, TOSHIHIRO;OBATA, MINORU;ANDO, SHIGERU
分类号	C23C14/14;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C23C14/14
代理机构		代理人
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