Verfahren und Zusammensetzung zum Reinigen von Arsin, Phosphin, Ammoniak und inerte Gase um Lewissäuren und oxydierende Verunreinigungen daraus zu entfernen
摘要
申请公布号
DE3854793(D1)
申请公布日期
1996.02.01
申请号
DE19883854793
申请日期
1988.03.18
申请人
MILLIPORE INVESTMENT HOLDINGS LTD., WILMINGTON, DEL., US
发明人
TOM, GLENN M., NEW MILFORD, CT. 06776, US;BROWN, DUNCAN W., WILTON, CT. 06897, US