发明名称 Verfahren zum Entfernen von Titannitrid.
摘要
申请公布号 DE69020200(T2) 申请公布日期 1996.02.01
申请号 DE19906020200T 申请日期 1990.03.12
申请人 MOTOROLA, INC., SCHAUMBURG, ILL., US 发明人 KNAPP, JAMES HOWARD, GILBERT, ARIZONA 85234, US;CARNEY, GEORGE FRANCIS, TEMPE, ARIZONA 85282, US;CARNEY, FRANCIS JOSEPH, TEMPE, ARIZONA 85234, US
分类号 B23K10/00;C23C16/34;C23F4/00;C23G5/00;(IPC1-7):C23G5/00;B08B7/00 主分类号 B23K10/00
代理机构 代理人
主权项
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