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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0810773(B2)
申请公布日期
1996.01.31
申请号
JP19890156222
申请日期
1989.06.19
申请人
发明人
分类号
H01L43/06;G01R33/07;(IPC1-7):H01L43/06
主分类号
H01L43/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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