发明名称
摘要
申请公布号 JPH0810696(B2) 申请公布日期 1996.01.31
申请号 JP19860052691 申请日期 1986.03.12
申请人 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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