发明名称 Piezoresistive sensor structure.
摘要
申请公布号 EP0647832(A3) 申请公布日期 1996.01.31
申请号 EP19940115517 申请日期 1994.10.01
申请人 TEMIC TELEFUNKEN MICROELECTRONIC GMBH 发明人 SCHUSTER, GUENTHER, DR.;HAMPE, ANDREAS
分类号 G01L1/16;G01D5/16;G01D5/18;G01L1/18;G01L1/22;G01L9/06;H01L29/84;H01L41/08;(IPC1-7):G01D5/16 主分类号 G01L1/16
代理机构 代理人
主权项
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