| 发明名称 |
Process and apparatus for oblique beam revolution for the effective laser stripping of sidewalls |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL115933(D0) |
申请公布日期 |
1996.01.31 |
| 申请号 |
IL19950115933 |
申请日期 |
1995.11.09 |
| 申请人 |
ORAMIR SEMICONDUCTOR EQUIPMENT LTD |
发明人 |
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| 分类号 |
B23K26/00;B23K26/36;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
B23K26/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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