发明名称 | 制备热解氮化硼坩埚制品的中频感应炉 | ||
摘要 | 本实用新型涉及用于制造热解氮化硼制品的化学气相沉积感应炉,属化学气相沉积技术领域。其特征是炉体内环绕感应线圈的石墨套筒发热体内中下部,设置的模具基体立于旋转底座上。本实用新型给出的是一种中频感应炉,基体在感应线圈中,本身在磁场作用下,产生涡流,发出热量,外加同心圆发热体,对它辐射热,所以升温速度快,基体受热较均匀。 | ||
申请公布号 | CN2218916Y | 申请公布日期 | 1996.01.31 |
申请号 | CN94232049.2 | 申请日期 | 1994.12.28 |
申请人 | 中国科学院金属研究所 | 发明人 | 赵凤鸣 |
分类号 | F27D11/06 | 主分类号 | F27D11/06 |
代理机构 | 中国科学院沈阳专利事务所 | 代理人 | 许宗富 |
主权项 | 1.一种制备热解氮化硼坩埚制品的中频感应炉。具有炉体、加热体、进气口、出气口、模具,其特征是炉体(2)内环绕感应线圈(4)的石墨套筒发热体(5)内中下部,设置的模具基体(3)立于旋转底座上。 | ||
地址 | 110015辽宁省沈阳市文化路72号 |