发明名称 制备热解氮化硼坩埚制品的中频感应炉
摘要 本实用新型涉及用于制造热解氮化硼制品的化学气相沉积感应炉,属化学气相沉积技术领域。其特征是炉体内环绕感应线圈的石墨套筒发热体内中下部,设置的模具基体立于旋转底座上。本实用新型给出的是一种中频感应炉,基体在感应线圈中,本身在磁场作用下,产生涡流,发出热量,外加同心圆发热体,对它辐射热,所以升温速度快,基体受热较均匀。
申请公布号 CN2218916Y 申请公布日期 1996.01.31
申请号 CN94232049.2 申请日期 1994.12.28
申请人 中国科学院金属研究所 发明人 赵凤鸣
分类号 F27D11/06 主分类号 F27D11/06
代理机构 中国科学院沈阳专利事务所 代理人 许宗富
主权项 1.一种制备热解氮化硼坩埚制品的中频感应炉。具有炉体、加热体、进气口、出气口、模具,其特征是炉体(2)内环绕感应线圈(4)的石墨套筒发热体(5)内中下部,设置的模具基体(3)立于旋转底座上。
地址 110015辽宁省沈阳市文化路72号