发明名称 Method for fabrication of a vertical field effect transistor and transistor obtained by this method
摘要
申请公布号 EP0522938(B1) 申请公布日期 1996.01.31
申请号 EP19920401909 申请日期 1992.07.03
申请人 FRANCE TELECOM 发明人 CHANTRE, ALAIN;BOIS, DANIEL;NOUAILHAT, ALAIN
分类号 H01L29/80;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/337;H01L29/808;(IPC1-7):H01L21/337 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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