发明名称 |
Method for fabrication of a vertical field effect transistor and transistor obtained by this method |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0522938(B1) |
申请公布日期 |
1996.01.31 |
申请号 |
EP19920401909 |
申请日期 |
1992.07.03 |
申请人 |
FRANCE TELECOM |
发明人 |
CHANTRE, ALAIN;BOIS, DANIEL;NOUAILHAT, ALAIN |
分类号 |
H01L29/80;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/337;H01L29/808;(IPC1-7):H01L21/337 |
主分类号 |
H01L29/80 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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