Phase shift mask for formation of contact holes having micro dimension,申请号GB19950024589-传众专利搜索

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发明名称	Phase shift mask for formation of contact holes having micro dimension
摘要
申请公布号	GB9524589(D0)	申请公布日期	1996.01.31
申请号	GB19950024589	申请日期	1995.12.01
申请人	HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO. LTD.	发明人
分类号	H01L21/027;G03F1/00	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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