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发明名称 VACUUM CHUCKING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0825270(A) 申请公布日期 1996.01.30
申请号 JP19940179711 申请日期 1994.07.08
申请人 SONY CORP 发明人 SUZUKI HIDEAKI
分类号 B25J15/06;(IPC1-7):B25J15/06 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人
主权项
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