发明名称 SEMICONDUCTOR MATERIAL AND THE MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR960001466(B1) 申请公布日期 1996.01.30
申请号 KR19920004405 申请日期 1992.03.18
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB K.K. 发明人 YAMAJAKI, SHUNPEI;JANG, HONG - YONG;KUSUMOTO, NAOTO;TAKEMURA, YASUHIKO
分类号 H01L21/20;H01L21/26;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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