| 发明名称 |
FORMATION OF METALLIC FILM AND METALLIC FILM FOR WIRING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0826889(A) |
申请公布日期 |
1996.01.30 |
| 申请号 |
JP19940163523 |
申请日期 |
1994.07.15 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KAWANO HIROYASU;SASAKI MAKOTO;YAGI TOMOHISA |
| 分类号 |
C30B25/16;C23C14/08;C23C14/34;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H05K3/38;H05K9/00;(IPC1-7):C30B25/16 |
主分类号 |
C30B25/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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