发明名称 WORKPIECE CONVEYANCE ROBOT AND WORKPIECE STOREHOUSE
摘要
申请公布号 JPH0826419(A) 申请公布日期 1996.01.30
申请号 JP19940167661 申请日期 1994.07.20
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VIDEO IND INF SYST INC;HITACHI KIDEN KOGYO LTD 发明人 YAMAMOTO NORIAKI;SUZUKI TAKAMICHI;ITO TETSUO;FUJII HIROSHI
分类号 B65G1/00;B25J9/00;B25J15/00;B65G1/04;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G1/04 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
主权项
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