发明名称 Indium-tin oxide component and process for its production
摘要 Es sind Bauteile aus Indium-Zinn-Oxid, mit einer mittleren Korngröße der gesinterten Oxidpartikel von mehr als 2 µm, und mit einer Dichte von mehr als 95 % ihrer theoretischen Dichte sowie Verfahren zur Herstellung von Bauteilen aus Indium-Zinn-Oxid durch Formen eines Rohlings aus einem Indium-Oxid und Zinn-Oxid enthaltenden Ausgangspulvers, und Sintern des Rohlings, bekannt. Um ausgehend hiervon ein Bauteil aus Indium-Zinn-Oxid anzugeben, das eine hohe Dichte und Bruchfestigkeit aufweist, das hohe Sputterraten ermöglicht und gleichzeitig für die Herstellung von ITO-Schichten mit guter Lichtdurchlässigkeit und hoher elektrischer Leitfähigkeit geeignet ist und um ein besonders wirtschaftliches Verfahren für die Herstellung von Bauteilen aus Indium-Zinn-Oxid mit hoher spezifischer Dichte und mit homogenem Kristallgefüge bereitzustellen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß die Oxidpartikel mit einem Gewichtsanteil von mindestens 97 % als Mischkristall vorliegen, beziehungsweise, daß als Ausgangspulver ein eine Mischkristallphase enthaltendes Mischkristallpulver eingesetzt wird.
申请公布号 EP0694507(A1) 申请公布日期 1996.01.31
申请号 EP19950106780 申请日期 1995.05.05
申请人 W.C. HERAEUS GMBH 发明人 HOERMANN, MICHAEL, DR.;LUPTON, DAVID FRANCIS, DR.;SCHIELKE, JOERG;SCHOELZ, FRIEDHOLD
分类号 C01G19/00;C04B35/457;C23C14/34;H01B13/00 主分类号 C01G19/00
代理机构 代理人
主权项
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