摘要 |
Es sind Bauteile aus Indium-Zinn-Oxid, mit einer mittleren Korngröße der gesinterten Oxidpartikel von mehr als 2 µm, und mit einer Dichte von mehr als 95 % ihrer theoretischen Dichte sowie Verfahren zur Herstellung von Bauteilen aus Indium-Zinn-Oxid durch Formen eines Rohlings aus einem Indium-Oxid und Zinn-Oxid enthaltenden Ausgangspulvers, und Sintern des Rohlings, bekannt. Um ausgehend hiervon ein Bauteil aus Indium-Zinn-Oxid anzugeben, das eine hohe Dichte und Bruchfestigkeit aufweist, das hohe Sputterraten ermöglicht und gleichzeitig für die Herstellung von ITO-Schichten mit guter Lichtdurchlässigkeit und hoher elektrischer Leitfähigkeit geeignet ist und um ein besonders wirtschaftliches Verfahren für die Herstellung von Bauteilen aus Indium-Zinn-Oxid mit hoher spezifischer Dichte und mit homogenem Kristallgefüge bereitzustellen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß die Oxidpartikel mit einem Gewichtsanteil von mindestens 97 % als Mischkristall vorliegen, beziehungsweise, daß als Ausgangspulver ein eine Mischkristallphase enthaltendes Mischkristallpulver eingesetzt wird. |