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发明名称
摘要
申请公布号	JPH087094(B2)	申请公布日期	1996.01.29
申请号	JP19900117905	申请日期	1990.05.08
申请人		发明人
分类号	G01J1/02;H01J31/50;(IPC1-7):G01J1/02	主分类号	G01J1/02
代理机构		代理人
主权项
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