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发明名称
摘要
申请公布号	JPH088243(B2)	申请公布日期	1996.01.29
申请号	JP19890321471	申请日期	1989.12.13
申请人		发明人
分类号	H01L21/302;B08B7/00;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
地址

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