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发明名称
摘要
申请公布号
JPH088353(B2)
申请公布日期
1996.01.29
申请号
JP19880012251
申请日期
1988.01.21
申请人
发明人
分类号
H01L29/205;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778
主分类号
H01L29/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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