发明名称
摘要
申请公布号 JPH088353(B2) 申请公布日期 1996.01.29
申请号 JP19880012251 申请日期 1988.01.21
申请人 发明人
分类号 H01L29/205;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778 主分类号 H01L29/205
代理机构 代理人
主权项
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