Fremgangsmåde til dannelse af aflejret film ved anvendelse af alkylaluminiumhydrid,申请号DK19900309800T-传众专利搜索

发明名称	Fremgangsmåde til dannelse af aflejret film ved anvendelse af alkylaluminiumhydrid
摘要
申请公布号	DK0425084(T3)	申请公布日期	1996.01.29
申请号	DK19900309800T	申请日期	1990.09.07
申请人	CANON KABUSHIKI KAISHA	发明人	MIKOSHIBA, NOBUO;TSUBOUCHI, KAZUO;MASU, KAZUYA
分类号	C23C16/20;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/20	主分类号	C23C16/20
代理机构		代理人
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