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发明名称 METHOD FOR SHAPING LAYOUT OF TIN DIOXIDE FILM
摘要
申请公布号 RU2053584(C1) 申请公布日期 1996.01.27
申请号 SU19925044277 申请日期 1992.05.26
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT IZMERITELNYKH SISTEM 发明人 GUSEV VALENTIN K;SUKHORUKOV VLADIMIR V;KUTINA NADEZHDA V;VINOGRADOV ANDREJ S
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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