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发明名称 METHOD OF APPLYING THIN FILMS
摘要
申请公布号 RU751256(C) 申请公布日期 1996.01.27
申请号 SU19792716435 申请日期 1979.01.12
申请人 PROEKTNO-TEKHNOLOGICHESKIJ I NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT 发明人 YAKUBINSKAYA A.I.;CHUJKO A.N.
分类号 H01L21/312;B04B5/00;B05C5/02;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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