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发明名称 Halbleiter-Druckwandler
摘要
申请公布号 DE3928542(C2) 申请公布日期 1996.01.25
申请号 DE19893928542 申请日期 1989.08.29
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TOBITA, TOMOYUKI, KATSUTA, JP;SASE, AKIRA, KATSUTA, JP;YAMAMOTO, YOSHIMI, IBARAKI, JP;SHIMADA, SATOSHI, HITACHI, JP
分类号 G01L9/04;G01L9/00;G01L9/06;G01L13/06;G01L19/00;(IPC1-7):G01L9/06 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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