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发明名称 Plasma-Bearbeitung von III-V-Halbleitern, gesteuert bei Photolumineszenz-Spektroskopie.
摘要
申请公布号 DE69019270(T2) 申请公布日期 1996.01.25
申请号 DE19906019270T 申请日期 1990.08.24
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 GOTTSCHO, RICHARD ALAN, MAPLEWOOD, NEW JERSEY 07040, US
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/30;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/306;C23C14/54;H01L21/66 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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