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发明名称 Impedanz-angepasste vertikalen leiter in einem Metall-Dielektrikum-Mehrschichtsubstrat.
摘要
申请公布号 DE69019713(T2) 申请公布日期 1996.01.25
申请号 DE1990619713T 申请日期 1990.12.08
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y. 10504, US 发明人 CHANCE, DUDLEY AUGUSTUS, NEWTON, CONNECTICUT 06470, US
分类号 H05K3/46;H01L23/12;H01L23/538;H01L23/64;H05K1/00;H05K1/02;H05K1/11;(IPC1-7):H01L23/64;H01L23/66 主分类号 H05K3/46
代理机构 代理人
主权项
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