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发明名称
Cryogene Vakuumpumpe mit elektronisch gesteuerter bzw. geregelter Regeneration
摘要
申请公布号
DE4491062(T1)
申请公布日期
1996.01.25
申请号
DE19944491062T
申请日期
1994.02.23
申请人
HELIX TECHNOLOGY CORP., MANSFIELD, MASS., US
发明人
BARTLETT, ALLEN J., MILFORD, MASS., US;YAMARTINO, STEPHEN J., WAYLAND, MASS., US
分类号
F04B37/08;(IPC1-7):F04B49/02
主分类号
F04B37/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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