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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Dünnfilmtransistors
摘要
申请公布号 DE4410273(C2) 申请公布日期 1996.01.25
申请号 DE19944410273 申请日期 1994.03.24
申请人 GOLDSTAR ELECTRON CO., LTD., CHEONGJU, KR 发明人 SONG, SEUNG RYONG, SEOUL/SOUL, KR;KIM, HONG SEUK, CHEONGJU, KR
分类号 G11B15/32;H01L21/335;H01L21/336;H01L21/8244;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 G11B15/32
代理机构 代理人
主权项
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