COMPLEX GAS ANALYSIS

摘要

Sensorarray mit Metalloxid-Halbleitergassensoren, die als Widerstandselemente betrieben werden, wobei jeder Sensor aus einer auf einem Substrat aufgebrachten Kontaktelektrode (Kontaktpad) und einer darauf abgeschiedenen sensoraktiven Schicht besteht, wobei zumindest bei einem Teil der Sensoren im Verhältnis zu den weiteren Sensoren ein unterschiedlicher Kontaktabstand L der Kontaktpads zueinander vorhanden ist und/oder eine unterschiedliche Dimensionierung der Fläche der sensoraktiven Schicht und/oder eine unterschiedliche Berührungsgrenzfläche A zwischen dem Kontakt und der sensoraktiven Schicht vorliegt.